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| 激光气相法研制硅系超微粉 | |
| 作者姓名： | 郭广生 安志棠 高晓云 贺晓冬 王伟洁 张敬畅 杨福明 |
| 作者单位： | 北京化工学院，北京化工学院，北京化工学院，北京化工学院，北京化工学院，北京化工学院，北京化工学院 北京，100029，北京，100029 北京东方化工厂，北京，100029，北京，100029，北京，100029，北京，100029，北京，100029 |
| 摘 要： | 用150W连续CO_2激光器为光源,以SiH_4气体为主原料,合成了超微Si、Si_3N_4、SiC粉末。研究了反应条件对超微粉性能的影响,并探索用廉价的原料代替SiH_4的可能性。该研究具有很好的工业应用前景。 |
| 关 键 词： | 激光化学 超微粉末 合成 |
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