| 溅射参数对Ge_2Sb_2Te_5薄膜光学常数的影响 |
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| 引用本文： | 谢泉,侯立松,阮昊,干福熹,李晶. 溅射参数对Ge_2Sb_2Te_5薄膜光学常数的影响[J]. 半导体学报, 2001, 22(2): 187-192 |
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| 作者姓名： | 谢泉 侯立松 阮昊 干福熹 李晶 |
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| 作者单位： | 中国科学院上海光学精密机械研究所!上海201800长沙交通学院信息与计算科学系，长沙410076，中国科学院上海光学精密机械研究所!上海201800，中国科学院上海光学精密机械研究所!上海201800，中国科学院上海光学精密机械研究所!上海201800，中国科学院上海光学精密机械研究所!上海201 |
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| 摘 要： | 研究了溅射参数对 Ge2 Sb2 Te5 薄膜的光学常数随波长变化关系的影响 ,结果表明 :(1)当溅射功率一定时 ,随溅射氩气气压的增加 Ge2 Sb2 Te5 薄膜的折射率先增大后减小 ,而消光系数先减小后增大 .(2 )当溅射氩气气压一定时 ,对于非晶态薄膜样品 ,在 5 0 0 nm波长以下 ,折射率随溅射功率的增加先增加后减小 ,消光系数则逐渐减小 ;在 5 0 0 nm以上 ,折射率随溅射功率的增加逐渐减少 ,消光系数先减小后增加 .对于晶态薄膜样品 ,在整个波长范围折射率随溅射功率的增加先减小后增加 ,消光系数则逐渐减少 .(3)薄膜样品的光学常数都随波长的变化而变化 ,在长波
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| 关 键 词： | 光学常数 Ge2Sb2Te5薄膜 溅射参数 |
Effects of Sputtering Parameter on Optical Constants of Ge2Sb2Te5 Thin Films |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | optical constants Ge 2Sb 2Te 5 thin films sputtering parameter |
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