| 掺铜TiO2薄膜的制备及结构与光学性能的研究 |
| |
| 引用本文： | 高飞,吴再华,刘晓艳. 掺铜TiO2薄膜的制备及结构与光学性能的研究[J]. 半导体光电, 2009, 30(1): 87-89,98 |
| |
| 作者姓名： | 高飞 吴再华 刘晓艳 |
| |
| 作者单位： | 湖南信息职业技术学院,长沙,410200;中南大学材料科学与工程学院,长沙,410083 |
| |
| 摘 要： | 采用双靶直流磁控共溅射法制备了掺铜TiO2薄膜,通过控制Cu靶的溅射功率改变Cu的掺杂量,研究了掺铜对TiO2薄膜的结构、光吸收及光催化性能的影响.结果表明:掺Cu能够改善薄膜的表面形貌与结晶质量,提高薄膜的光吸收性能.随着掺铜量的增加,TiO2薄膜的锐钛矿(101)衍射峰越来越强,且吸收边逐渐红移.Cu靶的溅射功率大于3 W,薄膜中就会出现CuO晶相.掺Cu后,TiO2薄膜的光催化性能明显增强.随着Cu的溅射功率的增大,TiO2薄膜的光催化性能先增强,后减弱.Cu的溅射功率为5 W的样品光催化性能最好.
|
| 关 键 词： | TiO2薄膜 双靶直流磁控共溅射 铜掺杂 |
Preparation of TiO2 Thin Films Doped with Cu and Study on Its Structure and Optical Properties |
| |
| GAO Fei,WU Zai-hua,LIU Xiao-yan. Preparation of TiO2 Thin Films Doped with Cu and Study on Its Structure and Optical Properties[J]. Semiconductor Optoelectronics, 2009, 30(1): 87-89,98 |
| |
| Authors: | GAO Fei WU Zai-hua LIU Xiao-yan |
| |
| Abstract: | |
| |
| Keywords: | |
| 本文献已被 万方数据 等数据库收录！ |
|
