| 一种新型的微机械可变式光衰减器 |
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| 引用本文： | 李文军,赵小林,蔡炳初. 一种新型的微机械可变式光衰减器[J]. 高技术通讯, 2003, 13(3): 52-55,51 |
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| 作者姓名： | 李文军 赵小林 蔡炳初 |
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| 作者单位： | 上海交通大学信息存储研究中心,上海,200030 |
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| 基金项目： | 上海市科技发展基金 ( 995 6 14 0 0 3)资助项目。 |
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| 摘 要： | 介绍了一种新型的连续可变式微机械单模光衰减器的设计与制作。该光衰减器采用电磁型微驱动器驱动一个铁镍合金衰减片，使其插入两根准直的单模光纤的间隙中，依靠精密地调节衰减片切入光路中的位置而实现对传输光功率的连续衰减。采用硅微细加工技术成功地制作出了这种光衰减器，并对微驱动器的性能进行了理论分析。测试结果表明，当传输的光波长为1550nm时，该衰减器的平均插入损耗为2.5dB，衰减范围为2.5-45dB，回波损耗为40dB。
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| 关 键 词： | 微电子机械系统 微机械 光衰减器 电磁微驱动器 平面线圈 光纤通信 波分复用 制造工艺 |
A Novel Micro-Mechanical Variable Optical Attenuator |
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| Li Wenjun,Zhao Xiaolin,Cai Bingchu. A Novel Micro-Mechanical Variable Optical Attenuator[J]. High Technology Letters, 2003, 13(3): 52-55,51 |
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| Authors: | Li Wenjun Zhao Xiaolin Cai Bingchu |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | MEMS Micro-machine Variable optical attenuator Electromagnetic micro-actuator Planar coil |
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