| 大面积光学级金刚石自支撑膜制备、加工及应用 |
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| 引用本文： | 吕反修,唐伟忠,李成明,陈广超,佟玉梅,宋建华.大面积光学级金刚石自支撑膜制备、加工及应用[J].功能材料,2004,35(Z1):117-124. |
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| 作者姓名： | 吕反修 唐伟忠 李成明 陈广超 佟玉梅 宋建华 |
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| 作者单位： | 吕反修（北京科技大学,材料学院,北京,100083）;唐伟忠（北京科技大学,材料学院,北京,100083）;李成明（北京科技大学,材料学院,北京,100083）;陈广超（北京科技大学,材料学院,北京,100083）;佟玉梅（北京科技大学,材料学院,北京,100083）;宋建华（北京科技大学,材料学院,北京,100083） |
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| 基金项目： | 863计划在"八五","九五"和"十五"期间的资金资助项目(863-715-02(Z)-A,863-715-Z38-03,2002AA305508) |
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| 摘 要： | 大面积光学级金刚石自支撑膜的制备和加工是近年来在CVD金刚石研究领域的最重要的技术进展之一.在军事和民用光学领域有非常重要的应用前景.本文综述了北京科技大学近年来在CVD金刚石膜光学应用领域的研究进展.给出了采用高功率直流电弧等离子体喷射(DC Arc Plasma Jet)CVD工艺制备大面积光学级金刚石自支撑膜的研究结果,并报导了对所制备的光学级金刚石自支撑膜的光学、力学(机械)、热学、微波介电性能和抗激光损伤等方面的最新研究结果.
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| 关 键 词： | 光学级金刚石膜 制备和加工 光学性能 热学性能 机械性能 微波介电性能 |
| 文章编号： | 1001-9731(2004)增刊-0117-08 |
| 修稿时间： | 2004年3月21日 |
Preparation, fabrication and application of Large area optical grade freestanding diamond films |
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