大面积光学级金刚石自支撑膜制备、加工及应用 |
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引用本文: | 吕反修 唐伟忠 李成明 陈广超 佟玉梅 宋建华. 大面积光学级金刚石自支撑膜制备、加工及应用[J]. 功能材料, 2004, 35(Z1): 117-124 |
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作者姓名: | 吕反修 唐伟忠 李成明 陈广超 佟玉梅 宋建华 |
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作者单位: | 吕反修(北京科技大学,材料学院,北京,100083);唐伟忠(北京科技大学,材料学院,北京,100083);李成明(北京科技大学,材料学院,北京,100083);陈广超(北京科技大学,材料学院,北京,100083);佟玉梅(北京科技大学,材料学院,北京,100083);宋建华(北京科技大学,材料学院,北京,100083) |
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基金项目: | 863计划在"八五","九五"和"十五"期间的资金资助项目(863-715-02(Z)-A,863-715-Z38-03,2002AA305508) |
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摘 要: | 大面积光学级金刚石自支撑膜的制备和加工是近年来在CVD金刚石研究领域的最重要的技术进展之一.在军事和民用光学领域有非常重要的应用前景.本文综述了北京科技大学近年来在CVD金刚石膜光学应用领域的研究进展.给出了采用高功率直流电弧等离子体喷射(DC Arc Plasma Jet)CVD工艺制备大面积光学级金刚石自支撑膜的研究结果,并报导了对所制备的光学级金刚石自支撑膜的光学、力学(机械)、热学、微波介电性能和抗激光损伤等方面的最新研究结果.
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关 键 词: | 光学级金刚石膜 制备和加工 光学性能 热学性能 机械性能 微波介电性能 |
文章编号: | 1001-9731(2004)增刊-0117-08 |
修稿时间: | 2004-03-21 |
Preparation, fabrication and application of Large area optical grade freestanding diamond films |
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Abstract: | |
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