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| 国外动态 | |
| 摘 要： | 美国空气产品公司计划增加NF3生产能力1倍美国空气产品与化学品公司计划建造一反应器,使其在宾夕法尼亚州家乡镇的工厂的三氟化氮（NF3）的生产能力翻1番。这一扩建工程预定于1999年末完工,这将使该公司的NF3生产能力增至227t／a。据称,这将有助于满足半导体工业洁净室清洗气和蚀刻气的需要。据该公司称,由于有一些半导体生产厂家将用NF3取代六氟乙烷,因为NF3的洁净室清洗效率高于六氟乙烷,这将使NF3的需求量增长。促使NF3需求增长的其他一些因素是由于300mm晶片生产装置的启动（大于200mm半导体晶片生产装置）,NF3获得了新的… |
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