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| 减成法制造精细线路 | |
| 作者姓名： | 李明 |
| 摘 要： | 一、绪言用减成法工艺制造精细图形受到一定的限制，这是因为在蚀刻过程中，不可避免地产生侧蚀现象。这是蚀刻速率通过表面蚀刻的非均匀性所致（见图1所示），除此之外，印制板的顶面和底面蚀刻速率也不相同。因此，就需要对减成法工艺从蚀刻过程、蚀刻使用的专用设备、化学药品和干膜抗蚀剂的成果的发展， |
| 关 键 词： | 工艺制造 精细线路 表面蚀刻 蚀刻速率 干膜抗蚀剂 精细图形 非均匀性 专用设备 |
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