综观微机电一体化

微机电一体化,是机电一体化的一个重要分支和发展新种,国外又称微电子机械学。它是当代微机械技术和先进的微电了技术的高度融合,并在同一材质基底上的联体集成,是微米(μm)水平的机电一体化。微机电一体化产品,泛指几何尺寸不超过1cm~3的机电一体化制品,最小体积远期攻坚目标向纳米～微米(nm～μm)范畴瞄准。目前,美日法德等发达国家都在全力开发,潜心研究。我国追踪这一世界前沿科技领域始于90年代初,并已取得一系列重大突破,其中不少研究成果已达到或接近国际水平。观察家们指出:微机电一体化技术,在世纪之交的关键时刻造就了一大批产品相继问世投入使用,必将影响和主宰下一世纪最初十年全球经济大发展,使传统的电子机械工业发生革命性的变化,导致出现一个新的高技术浪潮。