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| 互补的微分析方法-扫描电子显微术和扫描探针显微术 | |
| 引用本文： | 王晓平,李凡庆,吴自勤. 互补的微分析方法-扫描电子显微术和扫描探针显微术[J]. 电子显微学报, 2002, 21(4): 416-421 |
| 作者姓名： | 王晓平 李凡庆 吴自勤 |
| 作者单位： | 1. 中国科技大学理化中心,安徽,合肥,230026;中国科技大学物理系,安徽,合肥,230026 2. 中国科技大学理化中心,安徽,合肥,230026 3. 中国科技大学天文与应用物理系,安徽,合肥,230026 |
| 摘 要： | 本文介绍扫描电子显微术（SEM）和扫描探针显微术（SPM）这两种最常用的微分析方法的新进展，简述了它们各自的构成，工作原理，豚在研究工作中的互补性。 |
| 关 键 词： | 扫描电子显微术 扫描探针显微术 微分析 互补性 工作原理 SEM SPM |
| 文章编号： | 1000-6281(2002)04-0416-06 |
SEM and SPM complementary microanalysis methods |
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| WANG Xiao ping ,,LI Fan qing ,WU Zi qin. SEM and SPM complementary microanalysis methods[J]. Journal of Chinese Electron Microscopy Society, 2002, 21(4): 416-421 | |
| Authors: | WANG Xiao ping LI Fan qing WU Zi qin |
| Affiliation: | WANG Xiao ping 1,2,LI Fan qing 1,WU Zi qin 3 |
| Abstract: | Recent developments of scanning electron microscopy (SEM) and scanning probe microscopy (SPM) were reviewed as commonly used microanalysis methods. Their instrumentation, working principles and complementary characteristics in the microstructure investigations were briefly discussed. |
| Keywords: | scanning electron microscopy(STM) scanning probe microscopy(SPM) microanalysis complementarity |
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