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球面离子注入均匀性的计算机模拟
作者姓名:张树林  李争显
作者单位:东北工学院(张树林),国营建光机器厂(李争显)
摘    要:<正> 近几年来,金属材料的真空处理技术飞速发展,从原来的真空热处理,发展到今天的真空镀膜和在金属中的离子注入技术。无论是金属表面的镀膜还是在金属中注入离子,均可改善金属材料的机械性能。

关 键 词:离子注入 计算机模拟 球面 均匀性
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