| 紫外光预电离ArF和KrF准分子激光器 |
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| 引用本文： | 上官诚,袁才来,叶超,窦爱荣.紫外光预电离ArF和KrF准分子激光器[J].中国激光,1981,8(2):17-20. |
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| 作者姓名： | 上官诚 袁才来 叶超 窦爱荣 |
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| 作者单位： | 中国科学院上海光机所
(上官诚，袁才来，叶超)，中国科学院上海光机所(窦爱荣) |
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| 摘 要： | 本文报导紫外光预电离ArF和KrF准分子激光器的实验研究.输出激光能量ArF105毫焦耳、KrF185毫焦耳.文中讨论了各种参数对激光性能的影响.
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| 收稿时间： | 1980/3/26 |
A UV-preionized ArF and KrF excimer laser |
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| Abstract: | UV-preionzed ArF and KrF excimer lasers are reported. Maximum pulse energies of 105 mJ in ArF and 185 mJ in KrF were extracted. In this paper we discuss the effect of various parameters on laser performances. |
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