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| JPG—6型磁控溅射低阻值电阻镀膜机的研制 | |
| 引用本文： | 康虹,陆景春.JPG—6型磁控溅射低阻值电阻镀膜机的研制[J].真空,1992(1):37-40. |
| 作者姓名： | 康虹 陆景春 |
| 作者单位： | 锦州真空设备厂，锦州真空设备厂，锦州真空设备厂，锦州真空设备厂 锦州市 121000，锦州市 121000，锦州市 121000，锦州市 121000 |
| 摘 要： | ＪＰＧ－６型磁控溅射低阻值电阻镀膜机，是代替过去生产效率低，产品性能差的蒸发式镀膜机的一种新型镀膜设备。本文就设备的研制意义、工作原理、主要性能指标，以及结构设计特点等问题进行了论述．文中还给出了低阻值金属膜和金属氧化膜电阻的主要参数及其阻值范围。 |
| 关 键 词： | 溅射 电阻 镀膜机 金属膜 半导体 |
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