| 七种金属基底上类金刚石膜的过渡层制备研究 |
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| 引用本文： | 赵栋才,任妮,马占吉,肖更竭,武生虎. 七种金属基底上类金刚石膜的过渡层制备研究[J]. 真空科学与技术学报, 2008, 28(4) |
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| 作者姓名： | 赵栋才 任妮 马占吉 肖更竭 武生虎 |
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| 作者单位： | 兰州物理研究所,表面工程技术国家重点实验室,兰州,730000 |
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| 摘 要： | 为了解决类金刚石（DLC）膜在金属基底上附着力低的困难,本研究分别利用了两种厚度不同的Ti/TiCx/DLC过渡层和一种Ti/TiNy/TiNyCx/DLC过渡层在7种金属基底上（W18Cr4V、Cr12、GCr15、TC4、40Cr、9Cr18、1Cr18Ni9Ti）制备了DLC薄膜。利用Si（100）基底镀膜前后的形变,计算的薄膜应力高达3.9 GPa,这种应力在过渡层中部分释放而制备了较厚（0.9μm）DLC膜。薄膜的附着力通过拉拔试验发现,选择合适的过渡层,薄膜的附着力有很大的提高,拉拔中只有胶被拉开。纳米硬度计测试结果表明,薄膜的硬度都在5000 Hv左右,不随基底材料改变。往复式摩擦试验结果显示,稳定后的摩擦系数在0.1附近。通过Raman谱发现,所有基底上薄膜的谱图一致,这说明薄膜的结构不受基底影响。
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| 关 键 词： | 类金刚石膜 硬度 摩擦系数 附着力 |
Interfacial Adhesion of Diamond-Like Carbon Films on Different Substrates Covered with Transition Layers |
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