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| V500型CO＿2激光机及其Al＿2O＿3电子陶瓷基板加工技术 | |
| 引用本文： | 白军信,李宏杰.V500型CO＿2激光机及其Al＿2O＿3电子陶瓷基板加工技术[J].陶瓷(咸阳),2014(11):31-33. |
| 作者姓名： | 白军信 李宏杰 |
| 作者单位： | 西京电气总公司 西安 710065 |
| 摘 要： | 主要介绍了V500型CO2激光机的结构、原理以及加工电子陶瓷基片的相关技术,利用激光加工α-96%Al2O3陶瓷基板,是满足厚膜混合集成电路等产品生产和科研需要的主要方法之一。 |
| 关 键 词： | CO2激光机 陶瓷基片 加工技术 |
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