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| BaTiO3薄膜的MOCVD方法制备及进展 | |
| 引用本文： | 孙一军,张良莹.BaTiO3薄膜的MOCVD方法制备及进展[J].硅酸盐通报,1998,17(2):34-38. |
| 作者姓名： | 孙一军 张良莹 |
| 作者单位： | 西安交通大学精细功能电子材料与器件国家专业实验室 |
| 摘 要： | 本文概述了用金属有机物化学气相沉积（ＭＯＣＶＤ）方法制备ＢａＴｉＯ３薄膜的原理和特点，着重介绍低压ＭＯＣＶＤ、等离子体增强ＭＯＣＶＤ和光辅助ＭＯＣＶＤ三种技术在ＢａＴｉＯ３薄膜制备中的应用，并指出了最新进展进行、存在的困难和今后的发展趋势。 |
| 关 键 词： | MOCVD 进展 钛酸钡薄膜 薄膜 |
Preparation and Progress of BaTiO_3 Films by MOCVD Process |
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| Affiliation: | Xian Jiaotong University |
| Abstract: | |
| Keywords: | BaTiO_3 film MOCVD progress |
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