K因子在ZAF迭代计算中的作用和强基体效应样品中ZAF修正系数的具体分析

ZAF法是目前电子探针(EPMA)定量分析时最常用的修正方法，其本质就是准确测量样品中每个元素的K因子，然后进行K因子的数学迭代计算(数学修正)。理解了这一修正过程，有利于操作者正确、精确地设置定量分析实验条件。对于超轻元素含量不低或基体效应强的样品，K因子和实际浓度相差较大，修正系数相应也较大，这种情形下K因子的准确测量尤为重要。本文首先对ZAF法的迭代计算数学过程进行了推导，说明K因子是ZAF定量分析的核心；通过CrTiAlC磁控溅射材料(C质量分数约为8%)的微区定量分析结果，进一步分析造成C、Al元素的K因子和实际浓度相差较大的物理原因并对ZAF修正系数的每一项进行分析，进一步理解ZAF定量的数学迭代过程，建立强基体效应样品系统下的定量分析参数设置思路。