一种105~10-7 Pa现场真空计校准装置的设计北大核心CSCD |
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引用本文: | 卢耀文,柏向春,代建设,吉建丽,黄成功,闫睿,田虎林,魏萌萌,陈俊儒,周青枝.一种105~10-7 Pa现场真空计校准装置的设计北大核心CSCD[J].真空科学与技术学报,2020(6):531-535. |
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作者姓名: | 卢耀文 柏向春 代建设 吉建丽 黄成功 闫睿 田虎林 魏萌萌 陈俊儒 周青枝 |
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作者单位: | 1.北京市真空计量检测工程技术研究中心100029;2.北京东方计量测试研究所100086;3.西安飞机工业(集团)有限责任公司710089; |
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摘 要: | 针对现场真空校准需求,设计出校准范围为105~10-7 Pa的现场真空计校准装置。装置集成了比较和标准流导两种校准方法,采用模块化设计减小了装置的体积和重量;通过触摸屏或计算机实现自动化数据采集及操作控制,装置能够自动出具并上传校准证书;校准室通过特殊工艺处理及双极串联抽气机组抽气,设计的极限真空度为10-8 Pa量级;采用流导法和定容法设计出10-2~10-10 Pa·m3/s的复合型标准气体流量计,解决了宽量程标准流量的提供问题。本现场真空校准装置设计的校准范围为105~10-7 Pa,外形尺寸不超过500 mm×500 mm×600 mm,主体重量小于50 kg,具有校准范围宽、便携、自动化程度高等优点。
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关 键 词: | 真空计 现场校准 便携式 校准范围 |
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