| 紧凑型双路TEA CO_(2)激光器谐振腔热稳定性及补偿EI北大核心CSCD |
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| 引用本文： | 朱子任,白进周,付景静,苏新军,叶静涵,刘羽,杨银辉,黄文武,李辉,郑义军,谭荣清.紧凑型双路TEA CO_(2)激光器谐振腔热稳定性及补偿EI北大核心CSCD[J].红外与激光工程,2023(10):55-64. |
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| 作者姓名： | 朱子任 白进周 付景静 苏新军 叶静涵 刘羽 杨银辉 黄文武 李辉 郑义军 谭荣清 |
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| 作者单位： | 1.中国科学院空天信息创新研究院100094;2.中国科学院大学100049;3.粒子输运与富集技术全国重点实验室300180; |
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| 基金项目： | 粒子输运与富集技术全国重点实验室开放课题研究基金项目(QT210005)。 |
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| 摘 要： | 通过实验和仿真的方法,研究了多点分布的内部热源加热作用对紧凑型双路TEA CO_(2)激光器谐振腔热稳定性的影响。采用直流风扇热交换抑制了高压电源的局部加热效应,通过调整热交换的效率,可在13~22℃环境温度范围内,使前后谐振腔镜受到的局部加热形变作用和环境温度引起的热胀冷缩作用基本抵消。为实现更宽温度范围的谐振腔稳定性,在有效热交换措施的基础上,根据模拟预测的形变规律,提出了谐振腔变形的角度补偿方法。使用传感器获得环境温度与设定初始环境温度的偏差,通过调整伺服电机步数实现对方位角的补偿,补偿值约0.28 step/℃,通过PZT促动器调整悬臂调谐结构末端位移,实现对俯仰角的补偿,补偿值约0.79μm/℃。
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| 关 键 词： | TEA CO_(2)激光器 局部加热效应 腔体形变 角度补偿 |
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