|
|||||
|
|
| 基于电荷泵技术的三维器件的界面电荷特性研究 | |
| 引用本文： | 田阳雨,罗军,金鹰,吴元芳.基于电荷泵技术的三维器件的界面电荷特性研究[J].半导体技术,2019,44(7):542-547. |
| 作者姓名： | 田阳雨 罗军 金鹰 吴元芳 |
| 作者单位： | 中国科学院大学微电子学院,北京,100049;中国科学院大学微电子学院,北京 100049;中国科学院微电子研究所,北京 100029;中芯国际集成电路制造有限公司,上海,201203 |
| 摘 要： | |
| 关 键 词： | 电荷泵技术 缺陷能级分布 缺陷空间分布 三维器件 负偏压温度不稳定性(NBTI) |
| 本文献已被 万方数据 等数据库收录！ | |