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| 靶材用氧化铌粉体的制备及表征北大核心 | |
| 作者姓名： | 高远 彭能 金明亚 唐仁衡 肖世文 王亮亮 |
| 作者单位： | 1.广东省稀有金属研究所广东省稀土开发及应用重点实验室510651;2.广州市尤特新材料有限公司510880; |
| 基金项目： | 广州市科技创新委员会产学研协同创新重大专项(201604016099)；广东省省级科技计划项目(2017A010103012) |
| 摘 要： | 采用酸洗除杂、氢氟酸溶解、氨水沉淀、水洗过滤、喷雾干燥,然后在氢气气氛中高温煅烧的还原脱氧工艺,制备出可用于制备靶材的铌氧化物粉体,通过差热分析、XRD、TEM、粒度分布测试等方法对产物脱水、脱氧情况,物相、颗粒大小及微观形貌进行研究,同时对粉体纯度、振实密度及氧含量进行测试。结果表明:产品颗粒呈球形,流动性好,纯度达到99.96%(质量分数)以上,振实密度1.88 g/cm^3,失氧量为粉末中总氧含量(质量)的3.3%,达到靶材原料质量要求,证明了该工艺的可行性。 |
| 关 键 词： | 高纯氧化铌 氢化脱氧 振实密度 靶材 |
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