| 退火温度对二氧化钒薄膜红外透过率的影响 |
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| 引用本文： | 殷智勇,汪岳峰,董伟,李刚,张琳琳. 退火温度对二氧化钒薄膜红外透过率的影响[J]. 红外, 2009, 30(6) |
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| 作者姓名： | 殷智勇 汪岳峰 董伟 李刚 张琳琳 |
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| 作者单位： | 军械工程学院光学与电子工程系,河北,石家庄,050003;军械工程学院光学与电子工程系,河北,石家庄,050003;军械工程学院光学与电子工程系,河北,石家庄,050003;军械工程学院光学与电子工程系,河北,石家庄,050003;军械工程学院光学与电子工程系,河北,石家庄,050003 |
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| 摘 要： | 针对提高用溶-胶凝胶法制备的VO2薄膜的红外透过率的问题,提出了制备时的最佳退火温度.简要介绍了用无机溶胶凝胶法制备VP2薄膜的过程,对制备的VO2薄膜进行了差示扫描量热(DSC),X射线电子能谱仪(XPS)测试,分析了VO2薄膜的成分及相交温度.根据瑞利-高斯散射公式,通过散射截面与粒子密度计算和不同退火温度下薄膜透过率的测试,重点讨论了退火温度、晶粒尺寸和红外透射率三者的关系.
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| 关 键 词： | 退火温度 相交 二氧化钒 |
Influence of Annealing Temperature on Infrared Transmittance of VO2 Film |
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| YIN Zhi-yong,WANG Yue-feng,DONG Wei,LI Gang,ZHANG Lin-lin. Influence of Annealing Temperature on Infrared Transmittance of VO2 Film[J]. Infrared, 2009, 30(6) |
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| Authors: | YIN Zhi-yong WANG Yue-feng DONG Wei LI Gang ZHANG Lin-lin |
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