| 氧化钒薄膜的制备方法及结构性能 |
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| 引用本文： | 袁宁一 林成鲁 等. 氧化钒薄膜的制备方法及结构性能[J]. 江苏石油化工学院学报, 2000, 12(4): 1-4 |
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| 作者姓名： | 袁宁一 林成鲁 等 |
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| 作者单位： | [1]江苏石油化工学院功能材料实验室，江苏常州，２１３０１６ [2]中国科学院上海冶金研究所信息功能材料国家重点 |
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| 基金项目： | 中科院上海冶金研究所离子束开放实验室资助 |
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| 摘 要： | 氧化钒薄膜在非制冷红外成像器件中的应用已成为国际上研究的热点，各种晶体结构的氧化钒性能差异很大，为此综述了不同氧化钒晶体的结构和性能。由于制备方法及工艺条件对薄膜材料有较大影响，在此介绍了二氧化钒和五氧化二钒薄膜的几种主要制备方法及对生成膜性能的影响。
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| 关 键 词： | 氧化钒晶体 氧化钒薄膜 制备分析 结构 性能 |
Preparation and Properties of Vanadium Oxides Thin Films |
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| YUAN Ning-yi ,,LI Jin-hua ,LIN Chen-lu. Preparation and Properties of Vanadium Oxides Thin Films[J]. Journal of Jiangsu Institute of Petrochemical Technology, 2000, 12(4): 1-4 |
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| Authors: | YUAN Ning-yi LI Jin-hua LIN Chen-lu |
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| Affiliation: | YUAN Ning-yi 1,2,LI Jin-hua 1,LIN Chen-lu 2 |
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| Abstract: | There has been a lot of interest in vanadium oxides thin films because of their extensive applications in uncooled infrared imaging technology. Different methods preparing VO 2 and V 2O 5 thin films are given and effects of preparing condition on film properties are analyzed. |
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| Keywords: | vanadium oxide crystal thin films of vanadium oxides deposition methods of VO x fil0 |
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