| 磁场位形对微波ECR等离子体电子参数的影响 |
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| 引用本文： | 沈武林,马志斌,谭必松. 磁场位形对微波ECR等离子体电子参数的影响[J]. 武汉工程大学学报, 2010, 32(9). DOI: 10.3969/j.issn.1674-2869.2010.09.015 |
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| 作者姓名： | 沈武林 马志斌 谭必松 |
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| 作者单位： | 武汉工程大学材料科学与工程学院,武汉工程大学湖北省等离子体化学与新材料重点实验室,湖北,武汉,430074 |
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| 摘 要： | 测量了两种磁场位形中微波ECR等离子体的电子参数,研究了磁场位形对电子参数空间分布的影响,结果表明:发散场中电子温度在轴心和腔体边缘较大,在过渡的中间区域较小,而磁镜场中电子温度随径向半径R的增大单调减小;电子密度在两种磁场位形中随径向和轴向距离的增大均呈单调下降的趋势,磁镜场中的下降幅度大于发散场;在共振面附近,发散场中气压对电子温度的影响比在磁镜场中大,而气压对电子密度的影响在两种磁场位形中基本相似.
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| 关 键 词： | ECR等离子体 发散场 磁镜场 |
The effects of magnetic field configuration on the electron parameters of microwave ECR plasma |
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| SHEN Wu-lin,MA Zhi-bin,TAN Bi-song. The effects of magnetic field configuration on the electron parameters of microwave ECR plasma[J]. Journal of Wuhan Institute of Chemical Technology, 2010, 32(9). DOI: 10.3969/j.issn.1674-2869.2010.09.015 |
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| Authors: | SHEN Wu-lin MA Zhi-bin TAN Bi-song |
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