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16×0.8nm硅基二氧化硅AWG性能优化
引用本文:安俊明,李健,郜定山,李建光,王红杰,胡雄伟.16×0.8nm硅基二氧化硅AWG性能优化[J].半导体光电,2004,25(5):345-348,352.
作者姓名:安俊明  李健  郜定山  李建光  王红杰  胡雄伟
作者单位:中国科学院半导体研究所,光电子研究发展中心,北京,100083;内蒙古大学,物理系,内蒙古,呼和浩特,010021;中国科学院半导体研究所,光电子研究发展中心,北京,100083
基金项目:国家重点基础研究发展计划(973计划) , 国家高技术研究发展计划(863计划) , 国家自然科学基金
摘    要:对设计的折射率差为0.75%的16×0.8 nm硅基二氧化硅阵列波导光栅(AWG),围绕插损和串扰问题,采用广角有限差分束传播方法(FD-BPM)进行了数值模拟和优化.通过优化在输入波导、阵列波导的喇叭口,得到了插损为1.5 dB、串扰为-48 dB的AWG,优化后的指标已达到商用要求.

关 键 词:阵列波导光栅  波分复用  优化  数值模拟
文章编号:1001-5868(2004)05-0345-04
修稿时间:2003年12月22日
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