| FPN的影响因素分析及相关应用 |
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| 引用本文： | 徐德洋,王蓬勃,孙立宁.FPN的影响因素分析及相关应用[J].材料导报,2014,28(19):104-110. |
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| 作者姓名： | 徐德洋 王蓬勃 孙立宁 |
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| 作者单位： | 苏州大学江苏省先进机器人技术重点实验室,苏州215021;苏州大学苏州纳米科技协同创新中心,苏州215021 |
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| 摘 要： | 钢笔纳米刻蚀技术(Fountain pen nanolithography,FPN)是近年来发展起来的一种新型的基于原子力显微镜(Atomic force microscope,AFM)的扫描探针刻蚀技术,具有加工结构精度高、加工过程操作性强、对加工环境要求低、持续书写等优点。FPN刻蚀过程主要受探针的孔径大小、空气湿度、接触时间、书写速度、墨水的特性等因素影响。在介绍FPN相关原理及影响因素的基础上,综合介绍了包括电化学FPN技术(Electrochemical FPN,EcFPN)和主动控制技术FPN(Active FPN,AFPN)在内的FPN相关技术研究的最新成果及其在生物领域、微电子领域和光学器件方面的相关应用。
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| 关 键 词： | 钢笔纳米刻蚀技术 原子力显微镜 电化学FPN技术 |
Factors Influence on FPN and Its Applications |
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| XU Deyang,WANG Pengbo,SUN Lining.Factors Influence on FPN and Its Applications[J].Materials Review,2014,28(19):104-110. |
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| Authors: | XU Deyang WANG Pengbo SUN Lining |
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| Affiliation: | XU Deyang;WANG Pengbo;SUN Lining;Jiangsu Provincial Key Laboratory of Advanced Robotics,Soochow University;Collaborative Innovation Center of Suzhou Nano Science and Technology,Soochow University; |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | fountain pen nanolithography AFM electrochemical FPN |
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