| 多晶硅绒面结构光学特性的数值模拟 |
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| 引用本文： | 张发云.多晶硅绒面结构光学特性的数值模拟[J].材料导报,2014,28(18):137-140. |
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| 作者姓名： | 张发云 |
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| 作者单位： | 江西省高等学校硅材料重点实验室,新余338004;新余学院新能源科学与工程学院,新余338004 |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金，江西省自然科学基金，江西省教育厅科学技术研究项目 |
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| 摘 要： | 基于麦克斯韦方程组和材料本构方程,利用多物理场有限元软件COMSOL Multiphysics 3.5a中的RF模块建立了多坑绒面的有限元模型,并对硅片腐蚀前后的光学特性进行了模拟。研究表明,与硅片腐蚀前相比,腐蚀后(即多坑)绒面反射率较低,功率流y分量较高,具有较好的陷光效果,当波长为800nm时,多坑绒面表面电场z分量的最大值和最小值分别为腐蚀前硅片的3.1倍和2.3倍,而表面磁场y分量两个极值分别为腐蚀前硅片的6倍和6.6倍;通过将模拟结果和实验数据比较可知,多坑模型模拟结果更接近实验值,所获模拟结果可更好地指导实际生产。
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| 关 键 词： | 多晶硅 多坑 反射率 绒面 数值模拟 |
Numerical Simulation for Optical Performance of Texture Structure of Multicrystalline Silicon |
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| ZHANG Fayun.Numerical Simulation for Optical Performance of Texture Structure of Multicrystalline Silicon[J].Materials Review,2014,28(18):137-140. |
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| Authors: | ZHANG Fayun |
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| Affiliation: | ZHANG Fayun;Key Laboratory of Jiangxi University for Silicon Materials;Institute of New Energy Science and Engineering,Xinyu University; |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | multicrystalline silicon multi hole pit reflectivity texturing numerical simulation |
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