|
|||||
|
|
| 微波ECR等离子体材料加工技术研究 | |
| 引用本文： | 叶超. 微波ECR等离子体材料加工技术研究[J]. 苏州大学学报(工科版), 1998, 0(3) |
| 作者姓名： | 叶超 |
| 作者单位： | 苏州大学物理科学与技术学院 |
| 摘 要： | 微波电子回旋共振（ＥＣＲ）等离子体技术近年来在薄膜沉积、材料改性和有机高分子材料聚合等材料加工领域获得了广泛的应用与快速发展，本文结合近期的主要研究结果对此作一介绍。 |
| 关 键 词： | 微波等离子体，材料加工，电子回旋共振 |
INVESTIGATION OF MATERIALS PROCESSED WITH THE MICROWAVE ECR PLASMA |
|
| Abstract: | |
| Keywords: | |
| 本文献已被 CNKI 等数据库收录！ | |