|
|||||
|
|
| 微型齿轮研制中微细加工技术的应用研究 | |
| 作者姓名： | 任泰安 秦东晨 |
| 作者单位： | [1]河南机电高等专科学校 [2]郑州工业大学 |
| 基金项目： | 陕西省科委自然科学基金项目 |
| 摘 要： | 本文研究了在紫外光光刻条件下用微细加工方法研制微型齿轮的加工工艺,对加工过程进行了分析,加工水平已达到准ＬＩＧＡ水平。 |
| 关 键 词： | 微型齿轮 微细加工 光刻 微机械 |
| 本文献已被 CNKI 维普 等数据库收录！ | |
|
||||||||||||||||||||||
|
||||||||||||||||||||||
|
||||||||||||||||||||||
|
|
|
|
| 设为首页 | 免责声明 | 关于勤云 | 加入收藏 |
|
Copyright©北京勤云科技发展有限公司 京ICP备09084417号 |