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| 中子活化法测定硅中注磷剖面分布 | |
| 作者姓名： | 孙福桃 曹如晟 顾琦珍 |
| 作者单位： | 中国科学院上海冶金研究所(孙福桃，曹如晟)，中国科学院上海冶金研究所(顾琦珍) |
| 摘 要： | 本文对不同注磷能量和不同剂量(5×10~(14)～1×10~(16)/cm~2)的硅片进行了中子活化分析,测定硅中磷的剖面分布、注入剂量及其射程,方法测量下限为4×10~(10)g。 1.实验部分 1).试样辐照和退火 注磷硅片经酒精清洗后包于铝箔中。硅片与磷标准置于中子通量为7×10~~(13)n/cm~2·s的反应堆中辐照50小时,冷却14天。经过堆中子辐照后的注磷硅片置于管形炉中,在700°～900°e |
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