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TiO2薄膜的光电性能及应用
引用本文:王武育,王溪晶,杨太礼.TiO2薄膜的光电性能及应用[J].稀有金属,2008,32(6).
作者姓名:王武育  王溪晶  杨太礼
作者单位:1. 北京有色金属研究总院矿物资源与冶金材料研究所,北京,100088
2. 北京理工大学信息科学技术学院,北京,100081
3. 利达光电股份有限公司,河南南阳,473003
摘    要:TiO2是高折射率(n=2.7)、大介电常数(ε=114)和半导体微电子结构特点。它的薄膜(d<1μm时)是具有光学宽透明波限的优异光电子基质材料。在概述TiO2薄膜制备工艺过程及其对TiO2镀膜材料技术要求的基础上,有针对性地分析了薄膜的光电作用机制,重点介绍TiO2薄膜的光电特性及其在民用和高技术领域的具体应用情况,如光反射、光增透、光吸收、太阳能电池、太阳能集热、半导体介电性能等。

关 键 词:TiO2薄膜  光电应用

Review on Optoelectronic Properties and Applications of TiO2 Films
Wang Wuyu,Wang Xijing,Yang Taili.Review on Optoelectronic Properties and Applications of TiO2 Films[J].Chinese Journal of Rare Metals,2008,32(6).
Authors:Wang Wuyu  Wang Xijing  Yang Taili
Abstract:
Keywords:TiO2 films  optoelectronic applications
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