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| 电火花加工半导体靶材料工艺探索 | |
| 引用本文： | 张昭瑞,杨淑娟.电火花加工半导体靶材料工艺探索[J].电加工与模具,1998(3). |
| 作者姓名： | 张昭瑞 杨淑娟 |
| 作者单位： | 中国工程物理研究院核物理与化学研究所 |
| 摘 要： | 介绍了用电火花成形机在半导体硅片上开展加工孔和槽的研究情况 ,并对硅片的固定、电极的材料和电加工参数进行了探索 |
| 关 键 词： | 电火花机床 半导体硅片 电极 |
| 本文献已被 CNKI 等数据库收录！ | |
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