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| 一种简易的透射式多光束等厚干涉测量薄膜厚度的装置 | |
| 引用本文： | 孙大明,陈应山.一种简易的透射式多光束等厚干涉测量薄膜厚度的装置[J].真空科学与技术学报,1983(3). |
| 作者姓名： | 孙大明 陈应山 |
| 作者单位： | 安徽大学物理系，安徽大学物理系 |
| 摘 要： | 薄膜厚度的测量,是真空镀膜技术中的一项重要内容。根据Fizeau条纹原理,做成了一种简易透射式多光束等厚干涉测定薄膜厚度的装置。它可以测量微米级的薄膜厚度,检查光学平面的质量,测量细丝的直径和光的折射率等,精度在2％左右。一、实验原理由光的干涉原理可知,任意两个相邻的明条纹或暗条纹之间的距离l由下式决定 |
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