摘 要: | 介绍了一种新型的电子束蒸发(EBE)强流气、固两用离子源,其基本原理是将电子束蒸发技术引人离子源放电室内,使材料的蒸发和游离在同一放电室内完成。该源不仅能引出包括各种难熔材料在内的强流金属和非金属离子束,而且能同时引出气态和固态元素的混合离子束。迄今为止,已引出包括C,W,Ta,Mo,Cr,Ti,B,Cu,Ni,Al,Ar,N以及C和N,Ti等的混合离子束。用于薄膜制备的引出束径为3.6cm,其最大引出束流可达到90mA。利用此源引出的离子束流可在膜基间形成具有良好共混的过渡层,其沉积速率Mo约为2.5nm/s,C可达到8nm/s。
|