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| 工序能力指数CPK评价在混合集成电路生产线中的实践与应用 | |
| 引用本文： | 邓洁.工序能力指数CPK评价在混合集成电路生产线中的实践与应用[J].混合微电子技术,2005,16(3):51-58. |
| 作者姓名： | 邓洁 |
| 作者单位： | 中国电子科技集团公司第43研究所,合肥230022 |
| 摘 要： | 介绍工序能力指数基本概念，表述在混合集成电路生产线中实施CPK评价的实践和流程，指出存在的问题，以及从工序能力分析的角度理解6σ设计目标。 |
| 关 键 词： | 工序能力指数 计算方法 工艺参数采集 结果分析 集成电路生产 CPK 线中 混合 评价 应用 |
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