α能损法测厚仪的研制

α能损法测量靶膜的厚度是通过测量穿过薄膜的粒子能量的变化实现膜厚的测量。一束单能的α粒子穿过一定厚度的薄膜后由于能量损失的歧离效应会使能量有一定展宽，但中心能量是通过α能谱的峰位确定的，因此，用α粒子测量薄膜厚度有更小的测量误差。同时，这是一种无损的测量方法，采用计算机控制，方便易用。