光电控制间歇运动衍射光栅机控制系统的改造升级 |
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作者姓名: | 王炜 杨厚民 |
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作者单位: | 中国科学院长春光学精密机械研究所(王炜),衍射光栅刻划机(杨厚民) |
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摘 要: | 在分析了光电控制间歇运动衍射光栅刻划机(原刻划机)的基础上,针对原刻划机存在的不足,提出了相应的改进措施。据此设计构成了以单片机8031为核心的数控系统的硬件,实现了对分度信号的程控放大和幅值细分,提高了刻划机的分辨率;另外,用软件实现了直流力矩马达的分级调速,提高了刻划机的刻划精度。实验结果表明,改进后的刻划机分度重复性明显优于0.05μm。
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关 键 词: | 衍射光栅 刻划机 分度 程控放大 细分 调速 |
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