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硅低温晶体管的研究
作者姓名:魏同立 郑茳
作者单位:东南大学微电子中心 南京(魏同立,郑茳),东南大学微电子中心 南京(冯耀兰)
摘    要:本文从理论和实验上研究了硅晶体管电流增益的低温特性,建立了电流增益的温度模型阐明了低温时电流增益下降的机理,探讨了采用轻掺杂技术和a-Si发射区获得良好电性能的硅低温晶体管的方法,理论分析和实验结果吻合一致。

关 键 词:硅晶体管 低温特性 电流增益
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