| 光快速热处理温度对氧化银多孔薄膜微结构和表面形貌演化的影响 |
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| 引用本文： | 冯红亮,梁艳,郜小勇,张增院,马姣民.光快速热处理温度对氧化银多孔薄膜微结构和表面形貌演化的影响[J].真空,2010,47(5). |
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| 作者姓名： | 冯红亮 梁艳 郜小勇 张增院 马姣民 |
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| 作者单位： | 1. 郑州大学物理工程学院材料物理教育部重点实验室,河南,郑州,450052
2. 河南工业大学,设计艺术学院,河南,郑州,450000 |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金，郑州大学大学生创新基金 |
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| 摘 要： | 利用直流反应磁控溅射技术,在玻璃衬底上制备了氧化银薄膜。X射线衍射和扫描电子显微镜表明制备的氧化银薄膜主要由Ag和Ag2O组成,具有疏松、多孔的表面特征。制备的氧化银薄膜经过5 min光快速热处理后,薄膜由多晶转变为非晶;随着退火温度由200℃升高到300℃,氧化银薄膜表面由疏松、多孔结构向沟道、坑和孔洞联通结构,再向孔洞和洼地结构演变。这些演变归结为氧化银薄膜的不稳定性和严重的表面再构的结果。
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| 关 键 词： | 氧化银薄膜 磁控溅射 光快速热处理 多孔薄膜 |
Effect of rapid photothermal annealing temperature on evolution of microstructure and surface morphology of porous silver oxide thin films |
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| FENG Hong-liang,LIANG Yan,GAO Xiao-yong,ZHANG Zeng-yuan,MA Jiao-min.Effect of rapid photothermal annealing temperature on evolution of microstructure and surface morphology of porous silver oxide thin films[J].Vacuum,2010,47(5). |
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| Authors: | FENG Hong-liang LIANG Yan GAO Xiao-yong ZHANG Zeng-yuan MA Jiao-min |
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