| UV-LIGA技术在制作细胞培养器微注塑模具型腔中的应用 |
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| 引用本文： | 马雅丽,刘文开,刘冲,杜立群.UV-LIGA技术在制作细胞培养器微注塑模具型腔中的应用[J].光学精密工程,2013,21(5). |
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| 作者姓名： | 马雅丽 刘文开 刘冲 杜立群 |
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| 作者单位： | 1. 军事交通学院军事物流系,天津,300161
2. 大连理工大学机械工程学院,辽宁大连,116023 |
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| 基金项目： | 国家科技支撑计划资助项目 |
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| 摘 要： | 研究了细胞培养器微注塑模具型腔的制作方法.针对微注塑模具型腔的结构特点,采用UV-LIGA套刻技术,分别通过两次SU-8胶光刻和Ni的微细电铸制作了以合金钢为基底的微结构；然后利用掩膜腐蚀方法在铸层上腐蚀出微排气通道.对SU-8厚胶工艺过程中的溶胀现象、匀胶不平整和去除困难等问题进行分析,提出在掩膜板图形四周增设封闭的宽度为20μm的隔离带来减少图形四周SU-8厚胶体积,改善了该处胶模的热溶胀变形,使铸层的尺寸误差由原来的35μm降低到10μm,300μm高的微柱体侧壁陡直.隔离带的引入有效地提高了铸层图形的尺寸和形状精度.由于采用了刮胶的匀胶工艺和发烟硫酸去除SU-8胶的方法,消除了“边缘水珠效应”,彻底去除了SU-8胶.采用提出的方法可获得铸层质量好,与基底结合强度高的微注塑模具型腔.
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| 关 键 词： | 细胞培养器 UV-LIGA技术 SU-8胶 微注塑模具型腔 微结构 |
Application of UV-LIGA technology to machining micro-injection mold cavity of cell culture device |
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| MA Ya-li
,
LIU Wen-kai
,
LIU Chong
,
DU Li-qun.Application of UV-LIGA technology to machining micro-injection mold cavity of cell culture device[J].Optics and Precision Engineering,2013,21(5). |
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| Authors: | MA Ya-li LIU Wen-kai LIU Chong DU Li-qun |
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