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| 三维微机电系统中微反射镜的转动分析 | |
| 引用本文： | 徐亮,孔华华,李敏,戴乐.三维微机电系统中微反射镜的转动分析[J].光子技术,2005(1):29-32. |
| 作者姓名： | 徐亮 孔华华 李敏 戴乐 |
| 作者单位： | 南京邮电学院 光信息技术系，南京邮电学院 光信息技术系，南京邮电学院 光信息技术系，南京邮电学院 光信息技术系 南京 210003，南京 210003，南京 210003，南京 210003 |
| 摘 要： | 我们首先介绍了三维微机电系统(MEMS)作为光交叉连接设备(OXC)的总体结构以及微反射镜角度偏转的物理原理。然后根据应用在三维MEMS的电压和微反射镜偏转角度的控制关系，讨论了基于三维微机电系统(MEMS)的多端口光交换设备的一些特性。 |
| 关 键 词： | 微反射镜 微机电系统（MEMS） OXC 光交叉连接设备 光交换设备 三维 端口 总体结构 角度 物理原理 |
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