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对表面粗糙度的非接触测量
作者姓名:朱延彬 徐兢
作者单位:华南师范大学量子电子研究所(朱延彬),中国科学院安徽光学精密机械研究所(徐兢)
摘    要:应用光纤技术设计了一种新型光纤传感器。该传感器可用于表面粗糙度和微位移测量,本篇论述其在测量表面粗糙度方面的应用。基于光在粗糙表面的散射原理,采用散射光比法,能对Ra≤0.8μm 的粗糙表面实现快速、简便的非接触测量.

关 键 词:表面粗糙度 非接触测量 光纤传感器
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