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| SiGe/GAP合金的高温退火特性 | |
| 引用本文： | 高敏,D.M.Rowe. SiGe/GAP合金的高温退火特性[J]. 半导体学报, 1990, 11(9): 713-717 |
| 作者姓名： | 高敏 D.M.Rowe |
| 作者单位： | 昆明物理研究所(高敏)，英国威尔士大学(D.M.Rowe) |
| 摘 要： | 对SiGe/GaP合金进行的退火研究发现,当这种合金经受了高温-低温-高温三步骤退火后,材料的温差电功率因子(α~2σ)得到了进一步的改善。 |
| 关 键 词： | 硅－锗合金 高温退火 温差电性质 |
Three-Step Heat Treatment of SiGe/GaP Alloys |
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| Gao Min/Kunming Institute of Physics Kunming,ChinaD. M. Rowe/University of Wales College of Cardiff,U. K.. Three-Step Heat Treatment of SiGe/GaP Alloys[J]. Chinese Journal of Semiconductors, 1990, 11(9): 713-717 | |
| Authors: | Gao Min/Kunming Institute of Physics Kunming ChinaD. M. Rowe/University of Wales College of Cardiff U. K. |
| Abstract: | |
| Keywords: | SiGe alloys Heat treatment Thermoelectric properties |
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