| 压阻式加速度传感器的补偿技术的研究 |
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| 引用本文： | 朱目成.压阻式加速度传感器的补偿技术的研究[J].仪表技术,2000(4):42-43,49. |
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| 作者姓名： | 朱目成 |
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| 作者单位： | 西南工学院!绵阳621002 |
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| 基金项目： | 中国工程物理研究院基金!项目 ( 980 3 0 4 1 3 ) |
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| 摘 要： | 对扩散硅压阻式加速度传感器的零点误差，温度漂移和动态特性等进行了分析研究，给出了它们的补偿原理及其实现方法。
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| 关 键 词： | 压阻式加速度传感器 零点误差 |
Study on Compensation Technique for Silicon Piezoresistive Accelerometer |
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| Zhu Mucheng.Study on Compensation Technique for Silicon Piezoresistive Accelerometer[J].Instrumentation Technology,2000(4):42-43,49. |
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| Authors: | Zhu Mucheng |
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| Affiliation: | Zhu Mucheng |
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| Abstract: | A compensation technique for piezoresistive accelerometer's zero error, temperature excursion, dynamic property is worked out in this paper. We give the theory and achieve method of compensation. |
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| Keywords: | Sensor Micro silicon accelerometer Compensation Temperature compensation Dynamic property |
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