| 光刻机投影物镜的温度控制算法 |
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| 引用本文： | 聂宏飞,李小平,张玲莉. 光刻机投影物镜的温度控制算法[J]. 中国机械工程, 2008, 19(10): 0-1139 |
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| 作者姓名： | 聂宏飞 李小平 张玲莉 |
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| 作者单位： | 1. 华中科技大学数字制造装备与技术国家重点实验室,武汉,430074
2. 天津城市建设学院,天津,300381 |
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| 基金项目： | 国家重点基础研究发展计划(973计划) , 国家高技术研究发展计划(863计划) |
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| 摘 要： | 针对光刻机媒质远传温控系统的大惯性、多重时滞和多重扰动特征,提出了双输入双输出多模态非线性PI控制算法来提高温控过程的收敛速度和稳态精度.算法将温控系统从启动到稳定划分为5个控制模态,下层采用非线性PI算法实现精确控制,上层利用智能决策实现多模态的选择和切换.该算法已被成功运用于光刻机投影物镜温度控制系统中,实现了投影物镜温度控制的快速收敛,使光刻机在±0.006℃范围内稳定工作,对比实验进一步显示该算法具有较强的鲁棒性和自适应性.
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| 关 键 词： | 温度控制 PI算法 多模态 智能决策 双输入双输出 光刻机 投影物镜 温度控制 控制算法 Lens Projection Optical Lithography Control Algorithm 适应性 鲁棒性 显示 对比实验 稳定工作 范围 快速收敛 控制系统 成功运用 的选择 决策 智能 |
| 文章编号： | 1004-132X(2008)10-1135-05 |
| 修稿时间： | 2006-11-29 |
Temperature Control Algorithm for Optical Lithography Projection Lens |
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| Nie Hongfei,Li Xiaoping,Zhang Lingli. Temperature Control Algorithm for Optical Lithography Projection Lens[J]. China Mechanical Engineering, 2008, 19(10): 0-1139 |
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| Authors: | Nie Hongfei Li Xiaoping Zhang Lingli |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | temperature control PI algorithm multi-mode intelligent decision two-input two-output |
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