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氧化物添加剂对 Si_2N_2O 粉末生成的影响
引用本文:黄和平,比尔·帕格曼.氧化物添加剂对 Si_2N_2O 粉末生成的影响[J].无机材料学报,1991(4).
作者姓名:黄和平  比尔·帕格曼
作者单位:中南工业大学粉末冶金所,瑞典皇家工业学院 长沙
摘    要:氮氧化硅(Si_2N_2O)难于直接从 Si_3N_4和 SiO_2中制取。因此加入少量氧化物添加剂,如 Al_2O_3、Y_2O_3或MgO 于 Si_3N_4和 SiO_2中,在1150~1800℃的温度范围内,对 Si_2N_2O 生成反应的动力学进行了研究。应用 X 射线衍射确定了反应产物。实验结果表明,氧化物添加剂导致液相形成,从而降低了反应的活化能,大大加速了 Si_2N_2O 的生成。生成反应可描述如下:Si_3N_4(c)+SiO_2((?))→2Si_2N_2O(c)Si_3N_4在液相中的溶解是控制性步骤。Si_2N_2O 生成动力学与 Si_3N_4在液相中溶解量的大小有关,与 Si_3N_4的晶型种类无关。Y_2O_3或 MgO 比 Al_2O_3添加剂更有利于 Si_2N_2O 的生成。

关 键 词:氮氧化硅  氧化物添加剂  液相反应  动力学  活化能

Influence of Some Oxide Additiver on Formation of Silicon Oxynitride
Huang Heping.Influence of Some Oxide Additiver on Formation of Silicon Oxynitride[J].Journal of Inorganic Materials,1991(4).
Authors:Huang Heping
Abstract:
Keywords:Silicon oxynitride  Oxide additive  Liquid phase reaction  Kinetics  Activation energy  
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