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陶瓷氧化铝—金刚石薄膜复合材料的研究
引用本文:黄晓琴,夏义本,等.陶瓷氧化铝—金刚石薄膜复合材料的研究[J].功能材料与器件学报,2001,7(3):303-306.
作者姓名:黄晓琴  夏义本
作者单位:黄晓琴(上海大学材料科学与工程学院,上海 201800);夏义本(上海大学材料科学与工程学院,上海 201800);莫要武(莫要武);王瑜(上海大学材料科学与工程学院,上海 201800);居建华(上海大学材料科学与工程学院,上海 201800);王鸿(上海大学材料科学与工程学院,上海 201800)
摘    要:以有机高分子化合物酒精和氢气为反应气体,用热丝CVD法在Al2O3陶瓷基片上沉积出金刚石薄膜,用拉曼光谱,X射线衍射等方法进行了表征,探索了碳源浓度、热丝温度、基片温度和预处理工艺对金刚石薄膜结构和性能的影响。并且得到了最佳的工艺条件。探讨了金刚石在Al2O3衬底上的成核和生长机理。

关 键 词:金刚石薄膜  热丝CVD  拉曼光谱  X射线衍射  氧化铝陶瓷  复合材料
文章编号:1007-4252(2001)03-0303-04
修稿时间:2000年10月18

Study on composites of ceramic materials Al2O3 / diamond film
HUANG Xiao.Study on composites of ceramic materials Al2O3 / diamond film[J].Journal of Functional Materials and Devices,2001,7(3):303-306.
Authors:HUANG Xiao
Abstract:
Keywords:
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