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| 场限环电场分布的有限元分析 | |
| 作者姓名： | 荆春雷 肖浦英 陈治明 |
| 作者单位： | 陕西机械学院自动化工程系 |
| 摘 要： | 矩形场限环在器件反偏时的最大电场总是集中于四角，因而求解柱坐标下极角α不变的泊松方程可使场限环三维电场分布的讨论大为简化．在此基础上用有限元法对三场环结构的电场分布进行模拟，并对结构参数进行了优化分析．环电位随外加电压而变化的模拟结果与实验结果相吻合，表明了简化模型和分析方法的正确性和实用性． |
| 关 键 词： | 半导体器件 场限环 电场分布 有限元分析 |
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