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DOI
责任编辑
分类号
杂志ISSN号
CVD金刚石膜工艺研究
作者姓名:
张鬲君 易孟林 苗晋琦
作者单位:
[1]华中科技大学机电学院430074 [2]北京科技大学材料学院,北京100073
摘 要:
用电镜、激光ROMAN谱分析等手段研究工艺参数对CVD金刚石膜生长速率和生长质量的影响。结果显示:金刚石薄膜的生长速率随甲烷浓度、基片温度的增加而增加,随工作气压的升高先是增加,而后降低,峰值在15—20kPa处。
关 键 词:
CVD金刚石膜 生长速率 直流电弧等离子体喷射 制造工艺 光学窗口材料
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