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松下与瑞萨确立32nm晶体管技术量产应用目标将用于便携产品及数字家电用系统LSl
摘 要:
松下与瑞萨科技日前宣布,在两公司共同推进的32nm系统LSI用半导体工艺技术开发方面,确立了32nm晶体管技术等的量产应用目标。两公司计划将该技术应用于便携产品及数字家电用系统LSI。此次,两公司开发的是具有高介电率(high—k)栅极绝缘膜及金属栅极堆栈结构的晶体管技术以及采用超低介电率(low—k)材料的布线技术。
关 键 词:
技术开发
数字家电
便携产品
晶体管
系统
应用
松下
LSl
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