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| 基于LTCC基板的薄膜微带线制作技术 | |
| 引用本文： | 刘刚,王丛香,谢廉忠,张爱华.基于LTCC基板的薄膜微带线制作技术[J].混合微电子技术,2003,14(3):87-90. |
| 作者姓名： | 刘刚 王丛香 谢廉忠 张爱华 |
| 摘 要： | 本文对厚、薄膜多层互连基板的发展进行了简单的分析，对基于LTCC基板的薄膜50Ω微带线的设计、制造、测试进行了介绍。结果表明LTCC基板表面实施薄膜工艺与厚膜工艺相比有利于获得更好的微波一致性。 |
| 关 键 词： | 低温共烧陶瓷 LTCC 薄膜微带线 插入损耗 基板 |
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